三星斥資34億美元采購20台EUV光刻機 記憶體也要上新工藝

荷蘭ASML公司前不久發布的財報顯示2019年該公司出貨了26EUV光刻機,創造了歷史記錄。ASML沒有公布具體的客戶名單,但是主要買家就是台積電與三星。現在韓國媒體爆料稱,三星日前又下了一筆大訂單,斥資33.8億美元采購20EUV光刻機,不僅會用於7/5nm等邏輯工藝,還會用在DRAM記憶體芯片生產上。

據報道,三星在115日與ASML公司簽訂了新一輪訂單,將采購20EUV光刻機,總計花了33.8億美元,約合234億元人民幣。

這次的EUV光刻機采購規模比去年10月份的15台、181億元的規模更大,顯示出三星在EUV工藝上的雄心,畢竟三星從7nm開始就會直接上馬EUV工藝,目前已經量產,高通、NVIDIAIBM等公司都會是三星7nm EUV工藝的客戶。

7nm之後,三星還會推出6nm LPP5nm LPE4nm LPE等工藝,依然少不了EUV光刻機的參與,其中6nm工藝號稱今年1月份已經量產出貨,不過三星沒有提供詳細的客戶信息。

三星斥資34億美元采購20台EUV光刻機 記憶體也要上新工藝

這次采購的20EUV光刻機不僅會用於邏輯工藝,還會用在DRAM記憶體芯片上,這有可能帶來記憶體芯片生產的一場變革。

在進入10nm級別之後,DRAM記憶體也衍生出了1X1Y1Z至少三代工藝,大概等效於16-19nm14-16nm12-14nm,美光還會有更細化的1α、1β等工藝,但是在越過10nm這個坎上,記憶體工藝上EUV光刻機也是遲早的事。

從報道來看,三星最快在今年底就會在記憶體芯片生產上使用EUV光刻機,雖然不知道具體詳情,但是年底的時候三大記憶體芯片廠商應該會開始量產新一代的DDR5記憶體,所以有可能在DDR5記憶體上首嘗EUV的螃蟹味道。

三星斥資34億美元采購20台EUV光刻機 記憶體也要上新工藝

作者:憲瑞
來源:快科技