ASML公布最新一代EUV光刻機3600D:生產效率增加18%

10月14日,荷蘭ASML(阿斯麥)公布了光刻機產品的最新進展。其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發中的最先進光刻機系統,終於敲定最終規格。具體來說,30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓,提高了18%的生產率,並改進機器匹配套准精度至1.1nm

3600D定於2021年中旬出貨交付,客戶還需要一定時間等待,價格應該不會低於現款老型號的1.2億美元。

目前,ASML已經投產的最先進光刻機是3400C,但主力出貨型號是3400B。參數方面,3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2,每小時可曝光125片晶圓。

另外,ASML透露,3400B在三季度也完成了軟件升級。全新的DUV光刻機TWINSCAN NXT:2050i已經在三季度結束驗證,四季度早期開始正式出貨。

據悉,在截止9月30日的單季度,ASML共獲得60台光刻機收入,出貨了10台EUV光刻機。

ASML公布最新一代EUV光刻機3600D:生產效率增加18%

來源:cnBeta