用上EUV光刻機 SK海力士宣布明年量產第四代記憶體

ASML公司的EUV光刻機全球獨一份,現在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上,台積電、三星用它生產CPU、GPU等芯片。馬上記憶體芯片也要跟進了,SK海力士宣布明年底量產EUV工藝記憶體。

據報道,SK海力士總裁李石熙日前表示,該公司計劃將於明年下半年開始在利川廠區M16採用EUV光刻機生產第四代(1a nm)DRAM產品。

李石熙表示M16工廠將於今年底建成,明年上半年開始引入製造設備,目前實驗室正在進行准備工作,預計明年開始量產。

對記憶體來說,它跟CPU邏輯工藝一樣面臨着需要微縮的問題,EUV光刻機可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產時間、降低成本,並提高性能。

當然,上EUV工藝的代價也不是沒有,EUV光刻機單價10億元以上,產量還是不如傳統DUV光刻機,意味着初期成本會比較高。

SK海力士之前,前不久發布的16Gb容量LPDDR5記憶體已經用上了,帶寬速度為6400Mbps(等價6400MHz),比現款12Gb LPDDR5-5500快了16%。

16GB的總容量下,允許一秒內傳輸10部5GB高清電影(51.2GB)。

三大記憶體原廠中,只有美光對EUV工藝不太熱心,不過隨着前兩大廠商上馬EUV工藝,美光後續的想法或許也會改變了。

用上EUV光刻機 SK海力士宣布明年量產第四代記憶體

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責任編輯:憲瑞

作者:憲瑞
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