除了EUV 中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機

今日中芯國際披露,公司於2月1日與阿斯麥(ASML)上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議,公司已就購買用於生產晶圓的阿斯麥產品(即光刻機)與阿斯麥集團簽訂購買單,訂單金額12億美元。阿斯麥(ASML)即荷蘭阿斯麥,是全球最大的半導體設備製造商之一,主要業務為光刻機的研發和生產,在全球處於絕對領先地位。

具體來看,ASML在45nm以下製程的高端光刻機市場中占有85%的份額;在EUV(極紫外)光刻機領域則處於絕對壟斷地位,市場占有率100%。

眾所周知,EUV光刻機是生產5nm芯片必不可缺的設備。那麼,中芯國際此次12億美元的采購協議都有哪些類型的光刻機,包含EUV光刻機嗎?記者從業內資深人士處了解到,除了EUV光刻機,中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機,包括DUV(深紫外)光刻機。

此前,ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示:如果寬泛地理解相關規則對AMSL的整體意義,ASML將能夠從荷蘭向中國客戶(包括中芯國際)提供DUV光刻系統,且無需出口許可證。不過,如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統,ASML則需要為此申請出口許可證。

除了EUV 中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機

來源:cnBeta