意法半導體製造首批 200mm 碳化矽晶圓

意法半導體 (STMicroelectronics, 簡稱 ST) 宣布 ,ST 瑞典北雪平工廠製造出首批 200mm (8 英寸)碳化矽 (SiC) 晶圓片,這些晶圓將用於生產下一代電力電子晶片的產品原型 。SiC 晶圓升級到 200mm 標志著 ST 面向汽車和工業客戶的擴產計劃取得重要的階段性成功,鞏固了 ST 在這一開創性技術領域的領導地位,提高了電力電子晶片的輕量化和能效,降低客戶獲取這些產品的總擁有成本。

意法半導體製造首批 200mm 碳化矽晶圓

意法半導體的首批 200mm SiC 晶圓片質量上乘,影響晶片良率和晶體位錯的缺陷非常少。低缺陷率的取得離不開意法半導體碳化矽公司(前身是 Norstel 公司 ,2019 年被 ST 收購)在 SiC 矽錠生長技術開發方面的深厚積累和沉澱。除了晶圓片滿足嚴格的質量標准外 ,SiC 晶圓升級到 200mm 還需要對製造設備和整體支持生態系統進行升級更換。意法半導體正在與供應鏈上下游技術廠商合作開發自己的製造設備和生產工藝。

意法半導體先進的量產碳化矽產品 STPOWER SiC 目前是在卡塔尼亞(義大利)和宏茂橋(新加坡)兩家 150mm 晶圓廠完成前工序製造,後工序製造是在深圳(中國)和布斯庫拉(摩洛哥)的兩家封測廠進行的。這個階段性成功是意法半導體布局更先進的、高成本效益的 200mm SiC 量產計劃的組成部分 。SiC 晶圓升級到 200mm 屬於公司正在執行的 SiC 襯底建新廠和內部采購 SiC 襯底占比超 40% 的生產計劃。

意法半導體汽車和分立器件產品部總裁 Marco Monti 表示:「汽車和工業市場正在加快推進系統和產品電氣化進程 ,SiC 晶圓升級到 200mm 將會給我們的汽車和工業客戶帶來巨大好處。隨著產量擴大,提升規模經濟效益是很重要的。在覆蓋整個製造鏈的內部 SiC 生態系統方面積累深厚的專業知識,可以提高我們的製造靈活性,更有效地控制晶圓片的良率和質量改進。」

據悉碳化矽是一種化合物半導體材料,在電動汽車和工業製造過程等重要的高增長的電力應用領域,與矽材料相比,碳化矽的本徵特性可提供更高的性能和能效 。ST 在 SiC 領域的領先地位歸功於 25 年的專注和研發投入,擁有 70 多項專利。這項顛覆性技術可實現更高效的電能轉換,更小的更輕量化的設計,節省更多的系統設計總體成本,這些都是決定汽車和工業系統成功的關鍵參數和因素。與 150mm 晶圓相比 ,200mm 晶圓可增加產能,將製造集成電路可用面積幾乎擴大 1 倍,合格晶片產量是 150mm 晶圓的 1.8–1.9 倍。

來源:cnBeta