荷蘭ASML公司前不久發布的財報顯示2019年該公司出貨了26台EUV光刻機，創造了歷史記錄。ASML沒有公布具體的客戶名單，但是主要買家就是台積電與三星。現在韓國媒體爆料稱，三星日前又下了一筆大訂單，斥資33.8億美元采購20台EUV光刻機，不僅會用於7/5nm等邏輯工藝，還會用在DRAM記憶體芯片生產上。
據報道，三星在1月15日與ASML公司簽訂了新一輪訂單，將采購20台EUV光刻機，總計花了33.8億美元，約合234億元人民幣。
這次的EUV光刻機采購規模比去年10月份的15台、181億元的規模更大，顯示出三星在EUV工藝上的雄心，畢竟三星從7nm開始就會直接上馬EUV工藝，目前已經量產，高通、NVIDIA、IBM等公司都會是三星7nm EUV工藝的客戶。
在7nm之後，三星還會推出6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE等工藝，依然少不了EUV光刻機的參與，其中6nm工藝號稱今年1月份已經量產出貨，不過三星沒有提供詳細的客戶信息。
這次采購的20台EUV光刻機不僅會用於邏輯工藝，還會用在DRAM記憶體芯片上，這有可能帶來記憶體芯片生產的一場變革。
在進入10nm級別之後，DRAM記憶體也衍生出了1X、1Y、1Z至少三代工藝，大概等效於16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光還會有更細化的1α、1β等工藝，但是在越過10nm這個坎上，記憶體工藝上EUV光刻機也是遲早的事。
從報道來看，三星最快在今年底就會在記憶體芯片生產上使用EUV光刻機，雖然不知道具體詳情，但是年底的時候三大記憶體芯片廠商應該會開始量產新一代的DDR5記憶體，所以有可能在DDR5記憶體上首嘗EUV的螃蟹味道。
作者：憲瑞
來源：快科技
