近年來，依賴於人工智慧（AI）、物聯網（IoT）和5G網絡等技術，許多工廠都引入了更多的製造機器人，以實現更為集中、智能且高效的自動化製造過程。比如華碩去年就啟用了首個人工智慧工廠，由各種AIoT技術提供支持，包括3D數字孿生系統、AR平台、用於工廠物流的自主移動機器人（AMR）、以及人工智慧驅動的缺陷檢測系統，以助力其實現工業4.0目標，提高製造效率並改善ESG成果。
據ET News報導，三星正在開發智能感應系統（Smart Sensing System），旨在提高產量並改變半導體工廠的運營方式。該系統主要用於實時監控和分析生產過程，目前嘗試自動處理等離子體的均勻性問題。由於半導體製造中蝕刻、沉積和清潔等過程的結果會明顯受到等離子體均勻性的影響，對於精確測量和管理的要求很高
三星的最終目標是，在2030年之前使其晶圓廠完全實現自動化，成為無人半導體生產設施。實現這一目標需要開發能夠管理大量數據並自動優化設備性能的系統，而智能感應系統是該計劃的重要組成部分，能在工廠運轉中發揮關鍵作用。三星已經為此投資了大筆資金，希望能夠獲得長期回報。此外，三星還選擇與學術機構及合作夥伴尋求合作。
這些新型傳感器的一個重要特點是尺寸很小，可以安裝在現有的晶圓廠中，不需要額外的空間，對於潔淨室來說是非常寶貴的。與過往嚴重依賴外國工具來實現先進半導體工藝不同，新型傳感器都是在韓國設計和製造，這表明三星在開發智能感應系統上的一個重大轉變，即一定程度減少對國外的依賴。
來源：超能網
