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近日，中國科學院上海光學精密機械研究所信息光學與光電技術實驗室提出一種基於虛擬邊（Virtual Edge）與雙采樣率像素化掩模圖形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光學鄰近效應修正技術（Optical proximity correction, OPC），仿真結果表明該技術具有較高的修正效率。 光刻是極大規模集成電路製造的關鍵技術之一，光刻解析度決定集成電路的特徵尺寸。隨著集成電路圖形的特徵尺寸不斷減小，光刻系統的衍射受限屬性導致明顯的光學鄰近效應，降低了光刻成像質量。在光刻機軟硬體不變的情況下，採用數學模型和軟體算法對照明模式、掩模圖形與工藝參數等進行優化，可有效提高光刻解析度、增大工藝窗口，此類技術即計算光刻技術（Computational Lithography）。該技術被認為是推動集成電路晶片按照摩爾定律繼續發展的新動力。 OPC技術通過調整掩模圖形的透過率分布修正光學鄰近效應，從而提高成像質量。基於模型的OPC技術是實現90nm及以下技術節點集成電路製造的關鍵計算光刻技術之一。上海光機所科研人員提出的這種基於虛擬邊與雙采樣率像素化掩模圖形的快速光學鄰近效應修正技術，能夠將不同類型的成像失真歸結為兩種類型的成像異常，即內縮異常與外擴異常。利用不同的成像異常檢測模板，依次在掩模圖形的邊緣和拐角等輪廓偏移判斷位置進行局部成像異常檢測，確定異常類型及異常區域的范圍。根據異常檢測位置與異常區域范圍，自適應產生虛擬邊。通過移動虛擬邊調整掩模的局部透過率分布，從而修正局部成像異常。藉助修正策略和修正約束，實現高效的局部修正和全局輪廓保真度控制。另外，雙采樣率像素化掩模充分利用了成像系統的衍射受限屬性，在粗采樣網格上進行成像計算與異常檢測，在精采樣網格上進行掩模修正，兼顧了成像計算效率與掩模修正解析度。利用多種掩模圖形進行驗證，仿真結果表明該OPC技術的修正效率優於常用的基於啟發式算法的OPC技術。 相關研究成果發表在Optics Express上。研究工作得到國家重大科技專項和上海市自然科學基金項目的支持。 論文連結 基於虛擬邊的成像異常修正，（a）外擴異常修正，（b）內縮異常修正 來源：cnBeta

花亦非花 文/夜海光束（福建） 是誰揮灑塵埃似的身體 鑽進凍土的心牆 撩撥它的春心 是誰伸出嫩綠的小手 點亮黑色的土地 跳動春的音符 是誰調和綠色的顏料 渲染田野的畫布 展示春的底色 是誰折斷豐腴的枝葉 跳入桌上的菜盤 添加春的維他命 是誰扭動纖細的腰身 鋪就黃綠相間的地毯 醉臥春的遊客 是誰展開黃澄澄的花瓣 映襯緋紅的笑臉 霸屏春的朋友圈 是誰擠干香濃的體液 潤滑青澀的菜餚 滿足春的舌尖 一股油香撲鼻而來 一顆青菜輕輕入口 翻看相冊的手指秒停 眸光定格在那一片黃綠 思緒飛向那飄風的曠野 飛向那渺小 強大 價值一生 花亦非花的春花 ------ 周燕紅 網名 夜海光束 中職高級講師。愛好文學，喜歡詩歌。詩觀：溫柔以待，詩意生活 褚瑞琴 網名 老么，《海河主播社》金牌主播 退休幹部，熱愛柴米油鹽，嚮往詩和遠方。 喜好誦讀，用聲音抒發情懷，用真誠點亮生活。 來源：kknews花亦非花 文/夜海光束 主播/褚瑞琴

作為硬件識別工具領域的槓把子，AIDA64今天發布了最新的6.10正式版，全面支持中國兆芯、海光兩大x86架構CPU處理器。 在此之前，CPU-Z 1.89軟件、Linux 5.3系統內核均已支持兆芯CPU，「中國芯「正贏得越來越多的認可。 根據更新日誌，AIDA64 6.10對兆芯平台的支持相當豐富： 1、完整支持兆芯開先ZX-C+、開先KX-5000系列桌面處理器，開勝ZX-C+、開勝KH-20000系列服務器處理器 2、支持上述處理器的AVX、AES-NI、PadLock指令集 3、支持多款兆芯處理器的集成記憶體控制器 4、完整支持兆芯ZX-100、ZX-100S、ZX200芯片組 5、初步支持最新的兆芯開先KX-6000系列處理器 海光方面，AIDA64 6.10已經完全支持海光C86 Mukti、Dhyana兩個系列的處理器，基於AMD授權的Zen架構，主要面向數據中心、服務器、工作站等專業市場。 AIDA64 6.10版的其他更新也都很關鍵： － 支持PCIe 4.0主控和設備 － 支持NVMe 1.4規范 － 完整支持AMD RX 5700系列、Radeon Pro WX 3200顯卡 － 完整支持NVIDIA RTX 20 Super系列、Quadro RTX 3000/5000、Quadro P520/T1000/T2000顯卡 －...