日本開發用於新一代半導體的新型晶體管結構

目前量產的最先進工藝是台積電、三星的5nm,明年有望量產3nm工藝,再往後的2nm工藝需要全新的技術,製造難度更高,是大國爭搶的制高點之一。在先進工藝上,目前台積電、三星及Intel等幾家實力強大,日本公司主要是在光刻膠、硅片等材料有較大優勢,但日本也沒有放棄先進工藝上的努力。

日本開發用於新一代半導體的新型晶體管結構

據日本媒體報道,日本產業技術綜合研究所與台灣半導體研究中心(TSRI)等展開合作,開發了用於新一代半導體的新型晶體管結構。

相比其他技術,該技術將硅(Si)和鍺(Ge)等不同溝道材料從上下方堆疊、使「n型」和「p型」場效應晶體管靠近的名為「CFET」的結構。

報道稱,與此前的晶體管相比,CFET結構的晶體管性能高、面積小,有助於製造2nm以下線寬的新一代半導體。

據悉,這一研究成果發表於2020年12月在線上舉行的半導體相關國際會議「IEDM2020」。該項新技術有望在今後約3年里對民營企業進行轉讓,正式開始商用。

來源:cnBeta