摩爾定律不死 台積電已在謀劃1nm工藝:下代EUV光刻機是關鍵

在先進工藝上,台積電今年底量產3nm工藝,2025年則是量產2nm工藝,這一代會開始使用GAA電晶體,放棄現在的FinFET電晶體技術。

再往後呢?2nm之後是1.4nm工藝,Intel、台積電及三星這三大晶片廠商也在沖刺,其中三星首個宣布2027年量產1.4nm工藝,台積電沒說時間點,預計也是在2027年左右。

1.4nm之後就是1nm工藝了,這個節點曾經被認為是摩爾定律的物理極限,是無法實現的,但是現在晶片廠商也已經在攻關中。

摩爾定律不死 台積電已在謀劃1nm工藝:下代EUV光刻機是關鍵

台積電已經啟動了先導計劃,傳聞中的1nm晶圓廠將落戶新竹科技園下屬的桃園龍潭園區,這意味著台積電已經開始為1nm做規劃了,畢竟工廠需要提前一兩年建設。

不過真正量產1nm還需要很長時間,其中關鍵的設備就是下一代EUV光刻機,要升級下一代的高NA(數值孔徑)標準,從現在的0.33 NA提升到0.55 NA,更高的NA意味著更解析度更高,是3nm之後的工藝必備的條件。

按照ASML的計劃,下一代EUV光刻機的試驗型號最快明年就開始出貨,2025年後達到正式量產能力,售價將達到4億美元以上。

摩爾定律不死 台積電已在謀劃1nm工藝:下代EUV光刻機是關鍵

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來源:快科技