快科技9月1日消息，ASML方面已經表示，將在年底前向中國客戶交付部分先進晶片製造裝備。
據美國媒體報導稱，ASML已經獲得荷蘭官方的允許，在今年年底前向中國客戶出口其部分先進工具。
按照ASML的說法，在2023年的剩餘時間里，ASML將能繼續出貨其NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品，這些產品從9月1日起就受到限制。
至於2024年是不是可以繼續，ASML則表示暫時不能確定。
據ASML官網提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官網上關於這一台TWINSCAN NXT:1980Di的介紹，其中在解析度方面，寫到是大於等於38nm（可以支持到7nm左右），而這是指一次曝光的解析度，事實上光刻機是可以進行多次曝光的。
來源：快科技
