快科技3月5日消息，Intel發布了一條特殊的開箱視頻，堪稱史上最貴：他們從ASML拿到的全球第一台高NA EUV光刻機，已經開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內安裝了。
這台型號為Twinscan EXE:5000的光刻機著實是個龐然大物，運輸過程中動用了250個貨箱，總重約150噸，先用飛機從荷蘭運到俄勒岡州波特蘭，再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還只是核心組件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師，耗時約6個月，然後還得花時間調試。
這台光刻機主要作為研究之用，將會在Intel 18A節點上進行測試，但大規模量產得等到剛剛宣布的Intel 14A節點上，時間預計2025-2026年左右 。
該光刻機可以實現8nm的解析度，而現有低NA光刻機單次曝光只能做到13nm，同時電晶體密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關心的價格上，ASML的說法是大約3.8億美元，但這只是起步價，更高配置自然更貴，Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右，也就是逼近29億元。
相比之下，低NA EUV光刻機約為1.83億美元。
除了Intel，三星、台積電、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機，首批訂單有數十台。
來源：快科技
